SUSS MicroTecv美國蘇斯公司生產(chǎn)的半導體和太陽能行業(yè)用光刻機,目前得到業(yè)界的廣泛認同,該系列光刻機曝光系統(tǒng)的曝光燈,主要是由德國歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進行配套供應。歐司朗曝光燈系列,具體良好的光通量,穩(wěn)定的光強度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。
目前給蘇斯光刻機配套的相關參數(shù)如下:
HBO? short-arc mercury varour lamps for microlithography
Lamps for SüSS Lamp type Max life[h] Equipment(適用機型)
Equipment HBO 200W/DC 1000 MJB3
HBO 350W/S 600 MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
HBO 1000W/D 1000 MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
HBO 5000W/S 1000 MA300
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